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分类号
杂志ISSN号
SnO_2薄膜的化学气相淀积 Ⅱ.SnO_2薄膜的结构和气敏性能
作者姓名:
姚光辉
周瑞明
韩杰
陈敏恒
作者单位:
华东化工学院联合化学反应工程研究所技术化学物理室(姚光辉,周瑞明,韩杰),华东化工学院联合化学反应工程研究所技术化学物理室(陈敏恒)
基金项目:
自家自然科学基金,编号 2870342
摘 要:
研究了用化学气相淀积方法制备的SnO_2薄膜的组成。晶体结构和气敏性能。发现薄膜为多晶结构,在薄膜生长过程中,(200)、(110)晶面择优生长;薄膜对H_2的气敏灵敏度随温度的升高而增加,并存在一合适的工作温度范围:100~250℃。
关 键 词:
二氧化锡
化学气相淀积
薄膜
结构
气敏性能
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