MEMS微针阵列干电极及其在生理电信号采集中的应用

生理电信号能直接反映人们的身体状况，且随着各种便携式设备、穿戴式设备的出现，生理电信号的采集得到越来越多的重视。近年来，许多研究人员致力于生理电信号采集电极的研究，因此基于MEMS技术的微针阵列干电极逐渐成熟。微针阵列干电极通过微针刺入被测者的皮肤，实现连续、长期、高效的生理电信号采集，由于其成本低、操作简单、不会使被测者感到不适、采集质量高等优点，逐渐取代传统湿电极而得到越来越广泛的应用。通过将微针阵列干电极与湿电极进行对比，突出微针阵列干电极的研究价值；结合国内外最新研究，综述微针阵列干电极的制作工艺、微针阵列干电极的改进技术、在生理电信号采集中的应用现状；讨论目前微针阵列干电极存在的不足，并对以后的发展趋势进行展望。