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强自然对流流体的有限元解法:用于化学气相相淀积反应器
作者姓名:
丁平 杨玉晶
摘 要:
以冷壁化学气相淀积(CVD)反应器中淀积TiN涂层为对象,对立了适用于强自然对流流体的CVD反应器模型。模型中包括流动、传热、传质和化学反应,计入了温度对物性参数的影响。通过编制求解该复杂模型的有限元程度,计算反应器中流型、温度及浓度的分布。定量计算了TiN的淀积速率,计算值与实验值基本一致。该模型与程序不仅适用于本文所描述的淀积TiN系统,也可以成为各种外延反应器和金属有机化学气相淀积反应器中计
关 键 词:
有限元 自然对流 CVD 反应器
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