JEM—1200EX型电镜真空系统故障排除一例

我们使用的是日本电子公司生产的 JEM—1200EX 型透射电子显微镜。要使电镜正常工作,镜筒从上到下必须保持高真空状态。真空系统各阀门的动作由微机控制。故障现象正常情况下,真空抽到一定程度时(40min 左右),V_3阀(镜筒与照像室之间的阀门)应打开,此时电镜显示器 CRT 的 PIGE—3上的 PI—3电流值(指示照像室真空度)在40或40μA 以下。而现在则不是这样,电镜开机很长时间,V_3阀总是打不开,此时检查 PI—3的值在40μA 以上。故障分析正常时,当 JEM—1200EX 电镜的 PI—3电流值为40μA 时,V_3阀立即打开.而现在 PI—3的值总是大于40μA,因此 V_3阀门打不开。V_3阀门打不开的原因是,此真空规(皮拉尼管)位于镜筒下方的照像室内,是测