| 微波等离子体化学气相沉积合成TiN超细颗粒 |
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| 引用本文： | 胡宏晨 胡黎明. 微波等离子体化学气相沉积合成TiN超细颗粒[J]. 医学教育探索, 1994, 0(2): 141-144 |
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| 作者姓名： | 胡宏晨 胡黎明 |
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| 作者单位： | 华东理工大学技术化学物理研究所 |
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| 摘 要： | 热力学计算表明，Ｈ２，Ｎ２的过量有助于提高ＴｉＮ的产率，但能耗也相应增加。为此考察了温度，流量，ＴｉＣｌ４携带量，混合方式对产物性能的影响。结果表明，流量增加，温度升高，ＴｉＣｌ４携带量增加，混合愈好，则产物粒径愈小。在此基础上采用微波等离子体化学气相沉积法，合成了粒径为１２３－２８４ｎｍ的ＴｉＮ超细颗粒
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| 关 键 词： | 氮化钛 超细粉 化学气相沉积 |
Synthesis of TiN Ultrafine Particle via Microwave Plasma Chemical Vapour Deposition |
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| Gu Hongchen and Hu Liming. Synthesis of TiN Ultrafine Particle via Microwave Plasma Chemical Vapour Deposition[J]. Researches in Medical Education, 1994, 0(2): 141-144 |
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| Authors: | Gu Hongchen and Hu Liming |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | titanium nitride mierowave ultrafine powder chemical vapour deposition |
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