| 孪晶对CVD自支撑金刚石薄膜微区织构的影响分析 |
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| 引用本文： | 朱宏喜,毛卫民,冯惠平.孪晶对CVD自支撑金刚石薄膜微区织构的影响分析[J].中国体视学与图像分析,2005,10(4):229-232. |
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| 作者姓名： | 朱宏喜 毛卫民 冯惠平 |
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| 作者单位： | 北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(No.50372007)资助 |
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| 摘 要： | 利用电子背散射衍射技术检测分析了CVD自支撑金刚石薄膜侧面微区织构和孪晶,计算了{100}、{110}、{111}、{122}、{447}、{148}晶面平行薄膜表面的织构在薄膜生长过程中各阶段所占的比例。研究结果表明,不稳定的沉积温度不利于{100}、{110}、{111}织构的形成,孪晶造成了{122}、{447}、{148}织构。
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| 关 键 词： | 金刚石薄膜 织构 电子背散射衍射 孪晶 |
| 文章编号： | 1007-1482(2005)04-0229-04 |
| 修稿时间： | 2005年9月10日 |
Measurement and analysis of microtexture in CVD free standing diamond films by EBSD |
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| ZHU Hongxi,MAO Weimin,FENG Huiping.Measurement and analysis of microtexture in CVD free standing diamond films by EBSD[J].Chinese Journal of Stereology and Image Analysis,2005,10(4):229-232. |
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| Authors: | ZHU Hongxi MAO Weimin FENG Huiping |
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| Keywords: | diamond film texture EBSD twin |
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