固态硅压阻压力传感器及其在医疗仪器中的应用

压力传感器是一种将物理量的压力转换成电压或电流的转换器，在现代测量、控制和工业生产自动化及医疗仪器等领域得到广泛应用。压力传感器种类很多，随着半导体工艺技术的发展，一种利用半导体扩散技术制造的新型固态硅压阻压力传感器，由于具有体积小、重量轻、灵敏度高、测量精度高、滞后和蠕变小，适于动态测量等优点而成为压力传感器中的新秀。1固态硅压阻压力传感器的原理固态硅压阻压力传感器的原理是基于半导体的压阻效应，利用半导体扩散技术在硅基片上选择性地扩散制成应变区，区内电阻值随晶体内的应力而变化，而变化的极性依赖…