| 微机电系统发展及其应用 |
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| 引用本文： | 孟兴菊,石梅生. 微机电系统发展及其应用[J]. 医疗卫生装备, 2003, 0(Z2) |
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| 作者姓名： | 孟兴菊 石梅生 |
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| 作者单位： | 军事医学科学院卫生装备研究所 天津市300161(孟兴菊)，军事医学科学院卫生装备研究所 天津市300161(石梅生) |
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| 摘 要： | 本文介绍了MEMS国内外发展状况和关键技术,并对MEMS在医学和军事领域的应用作了详细阐述。
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| 关 键 词： | 微机电系统(MEMS) MEMS器件 微机械 |
The development and applicationof the MEMS |
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| MENG Xing-ju SHI Mei-sheng. The development and applicationof the MEMS[J]. Chinese Medical Equipment Journal, 2003, 0(Z2) |
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| Authors: | MENG Xing-ju SHI Mei-sheng |
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| Abstract: | This paper introduces the development of the MEMS at home and abroad,besides the key technology,the application in medicine and military about the MEMS also expounded in detail. |
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| Keywords: | micro-electro-mechanical system(MEMS) MEMS unit micromachines |
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