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微机械技术应用于医疗工程的研究
引用本文:林良明,颜国正,李强,陈寅.微机械技术应用于医疗工程的研究[J].医疗保健器具,1999(5).
作者姓名:林良明  颜国正  李强  陈寅
作者单位:上海交通大学 (林良明,颜国正,李强),上海交通大学(陈寅)
摘    要:一、微机械的发展和定义 微机械是本世纪出现的一项高新技术,它的发展是建筑在下列三个支柱技术的基础上,即(1)以VLSI为代表的半导体微细加工技术;(2)微检测和控制技术;(3)微系统的设计方法论。由于人们预料到这项技术将导致未来产业

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