| 软光刻技术 |
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| 引用本文： | 洪吉,刘伟庭,陈裕泉.软光刻技术[J].国际生物医学工程杂志,2001,24(3):134-137. |
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| 作者姓名： | 洪吉 刘伟庭 陈裕泉 |
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| 作者单位： | 浙江大学生物传感器国家专业实验室, |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(6 98710 2 5 ,30 0 70 2 18)，浙江省自然科学基金 (6 0 0 113.6 990 14)资助项目 |
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| 摘 要： | 本文介绍了国外新出现的微结构制造技术——软光刻技术 ,它提供了一种方便的、有效的和低成本的微米、纳米尺寸微结构的制造方法。讨论了软光刻的几个关键技术 :自组织形成的单层有机膜、弹性模、微印刷技术、再铸模、微传递成模、毛细管成模、溶剂辅助成模。并且阐述了软光刻技术在光刻技术难以实现的拓扑结构、材料以及分子尺寸领域上的应用
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| 关 键 词： | 软光刻 微结构制造 纳米技术 |
| 文章编号： | 1001-1110(2001)03-0134-05 |
| 修稿时间： | 2001年1月15日 |
Soft lithography technology |
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| HOHG Ji,LIU Wei- ting,CHEN Yu- quan.Soft lithography technology[J].International Journal of Biomedical Engineering,2001,24(3):134-137. |
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| Authors: | HOHG Ji LIU Wei- ting CHEN Yu- quan |
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| Abstract: | We describe here a newly emerged microstructure fabrication technology- - soft lithography,which provides a convenient,effective,and low- cost method for the formation and manufacturing of m icro- and nanostructures.We discuss some key techniques of soft lithography:self- assembled m onolayers,elastomeric stamp,m icrocontact printing,replica m olding,m icrotransfer molding,microm olding in capillaries,solvent- assisted m icromolding.And we survey soft lithography's ability to provide routes to pattern microstructures in topology,materials,or molecular- level definition that cannot(or at least not easily) be solved by photolithography. |
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| Keywords: | soft lithography microfabrication nanotechnology |
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