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采用电子背散射衍射技术(EBSD),测量了微电子器件中Al互连线的晶粒结构、晶体学取向和晶界特征.Al互连线制备及退火工艺影响着互连线的显微结构和电徙动中值寿命(MTF).结果表明,退火后晶粒明显长大,晶粒呈近竹节结构,形成很强的{111}织构,并使小角度晶界增加,从而提高了Al互连线的电徙动可靠性. 相似文献
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牙科陶瓷的发展与全瓷修复技术的应用 总被引：5，自引：0，他引：5
本文阐述了牙科陶瓷以及全瓷修复技术的发展历史,探讨了牙科陶瓷制备技术的进步历程,提出了研究中要结合应用-加工-性能-材料的一条龙模式.尤其是对牙科修复中的材料与加工技术的研究现状进行较为全面的总结,提出了发展趋势. 相似文献
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