| 纳米颗粒ZnO薄膜气敏机理研究 |
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| 引用本文： | 杜明贵,陆慧,周康夫,邵志翔,潘孝仁.纳米颗粒ZnO薄膜气敏机理研究[J].医学教育探索,2008(3):457-460. |
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| 作者姓名： | 杜明贵 陆慧 周康夫 邵志翔 潘孝仁 |
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| 作者单位： | 华东理工大学物理系,上海200237 |
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| 摘 要： | 采用气体放电活化反应蒸发沉积(GDARE)法低温生长纳米颗粒ZnO薄膜.在不同温度下测试其对乙醇的灵敏度,结果表明:285℃附近纳米颗粒ZnO薄膜的灵敏度最高,为9.76,并且其最佳工作温度区间较窄.通过对ZnO薄膜的AFM表面形貌分析、SEM剖面分析和光学透射谱测试,可推测薄膜具有多孔性柱状晶表面结构,结合ZnO薄膜通入乙醇前后的阻抗谱测试结果,从晶粒晶界效应上对纳米颗粒ZnO薄膜的气敏机理进行了讨论.
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| 关 键 词： | 纳米颗粒 ZnO薄膜 灵敏度 透射率 阻抗谱 晶界 |
Gas Sensitivity Mechanism of Nanometer Particle ZnO Thin Films |
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| DU Ming-gui,LU Hui,ZHOU Kang-fu,SHAO Zhi-xiang,PAN Xiao-ren.Gas Sensitivity Mechanism of Nanometer Particle ZnO Thin Films[J].Researches in Medical Education,2008(3):457-460. |
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| Authors: | DU Ming-gui LU Hui ZHOU Kang-fu SHAO Zhi-xiang PAN Xiao-ren |
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| Keywords: | |
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