| 基于微带谐振器的三维约束微波微等离子体源的实现 |
| |
| 引用本文： | 唐佳丽,明小祥,于新海,王正东.基于微带谐振器的三维约束微波微等离子体源的实现[J].医学教育探索,2016(2):271-276. |
| |
| 作者姓名： | 唐佳丽 明小祥 于新海 王正东 |
| |
| 作者单位： | 华东理工大学承压系统与安全教育部重点实验室, 上海 200237,华东理工大学承压系统与安全教育部重点实验室, 上海 200237,华东理工大学承压系统与安全教育部重点实验室, 上海 200237,华东理工大学承压系统与安全教育部重点实验室, 上海 200237 |
| |
| 摘 要： | 通过理论计算及HFSS仿真设计了微带谐振器,并通过比对三维约束结构存在的HFSS仿真结构验证了三维结构的可行性。实测制备的微带谐振器空载谐振频率为2.5GHz,回波损耗系数(S11)为-17.94dB。该微带谐振器成功实现了三维约束微尺度下,工作频率为2.5GHz,工作压强范围为30Pa至大气压、功率范围为0.7~6W时的微等离子体放电。通过光谱仪检测压强为7.5×104Pa下的Hβ谱线,应用斯塔克展宽求得此压强下平均电子密度为5.54×1013cm-3,该值符合微等离子体源的电子密度值。
|
| 关 键 词： | 微带谐振器 HFSS 微等离子体 斯塔克展宽 |
| 收稿时间： | 9/9/2015 12:00:00 AM |
Implementation of a Microwave Microplasma Source Based on Microstrip Resonator |
| |
| TANG Jia-li,MING Xiao-xiang,YU Xin-hai and WANG Zheng-dong.Implementation of a Microwave Microplasma Source Based on Microstrip Resonator[J].Researches in Medical Education,2016(2):271-276. |
| |
| Authors: | TANG Jia-li MING Xiao-xiang YU Xin-hai and WANG Zheng-dong |
| |
| Institution: | Key Laboratory of Pressurized Systems and Safety, Ministry of Education, East China University of Science and Technology, Shanghai 200237, China,Key Laboratory of Pressurized Systems and Safety, Ministry of Education, East China University of Science and Technology, Shanghai 200237, China,Key Laboratory of Pressurized Systems and Safety, Ministry of Education, East China University of Science and Technology, Shanghai 200237, China and Key Laboratory of Pressurized Systems and Safety, Ministry of Education, East China University of Science and Technology, Shanghai 200237, China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | microstrip resonator HFSS microplasma Stark broading |
|
| 点击此处可从《医学教育探索》浏览原始摘要信息 |
| 点击此处可从《医学教育探索》下载免费的PDF全文 |
|
