| 电子背散射衍射装置及数据处理系统 |
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| 引用本文： | 孙丽虹,刘安生,邵贝羚,胡广勇,张希顺,杜风贞. 电子背散射衍射装置及数据处理系统[J]. 中国体视学与图像分析, 2005, 10(4): 253-256 |
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| 作者姓名： | 孙丽虹 刘安生 邵贝羚 胡广勇 张希顺 杜风贞 |
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| 作者单位： | 北京有色金属研究总院,北京,100088 |
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| 基金项目： | 国家科技部条财司资助(No.JG-2000-31) |
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| 摘 要： | ![]()
本文介绍了电子背散射衍射接收装置,该装置的CCD以快速方式接收的灵敏度为5 m lux,积累方式接收的灵敏度为10μlux,,分辨率为512 dpi,扫描卡最高的分辨率为4 096×4 096。并成功地安装在北京有色金属研究总院JSM-840扫描电镜上。此系统设计合理、结构简单、操作方便安全。成功的编写了识别和标定电子背散射衍射花样的软件,可给出测试样品的电子图像、极图、反极图、取向图及微取向分布图(ODF)。
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| 关 键 词： | 电子背散射衍射 数字图像 晶体取向 扫描电镜 |
| 文章编号： | 1007-1482(2005)04-0253-04 |
| 修稿时间： | 2005-09-15 |
An electron back-scattering diffraction system and its data processing software |
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| SUN Lihong,LIU Ansheng,SHAN Beiling,HU Guangyong,ZHAN Xishun,DU Fengzhen. An electron back-scattering diffraction system and its data processing software[J]. Chinese Journal of Stereology and Image Analysis, 2005, 10(4): 253-256 |
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| Authors: | SUN Lihong LIU Ansheng SHAN Beiling HU Guangyong ZHAN Xishun DU Fengzhen |
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| Abstract: | ![]()
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| Keywords: | EBSD digital image crystal orientation SEM |
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