辉光放电等离子体沉积生物碳素材料的研究

本文研究了在石墨和金属基体上辉光放电等离子热裂解甲烷各种因素对沉积碳膜质量和沉积速率的影响。研究得出,碳膜的沉积量与沉积时间、沉积速率与气体流量、甲烷浓度、射频功率呈线性关系;沉积膜质量与基体在等离子体场中所处位置有关。 采用偏光显微镜、X——射线衍射分析、扫描电子显微镜等现代化检测技术对等离子体沉积碳膜进行结构分析,结果表明,该碳膜为各向同性结构。经检定该膜具有良好的不溶血性和化学稳定性。同时测定了膜的表面张力和密度等物理性能。初步判断等离子体沉积的碳膜具有良好的血液相容性。