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| 强自然对流流体的有限元解法：用于化学气相相淀积反应器 | |
| 引用本文： | 丁平,杨玉晶.强自然对流流体的有限元解法：用于化学气相相淀积反应器[J].医学教育探索,1994(4):444-451. |
| 作者姓名： | 丁平 杨玉晶 |
| 摘 要： | 以冷壁化学气相淀积（ＣＶＤ）反应器中淀积ＴｉＮ涂层为对象，对立了适用于强自然对流流体的ＣＶＤ反应器模型。模型中包括流动、传热、传质和化学反应，计入了温度对物性参数的影响。通过编制求解该复杂模型的有限元程度，计算反应器中流型、温度及浓度的分布。定量计算了ＴｉＮ的淀积速率，计算值与实验值基本一致。该模型与程序不仅适用于本文所描述的淀积ＴｉＮ系统，也可以成为各种外延反应器和金属有机化学气相淀积反应器中计 |
| 关 键 词： | 有限元 自然对流 CVD 反应器 |
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