|
|||||
|
|
| 微波等离子体化学气相沉积合成TiN超细颗粒 | |
| 引用本文： | 胡宏晨,胡黎明.微波等离子体化学气相沉积合成TiN超细颗粒[J].医学教育探索,1994(2):141-144. |
| 作者姓名： | 胡宏晨 胡黎明 |
| 作者单位： | 华东理工大学技术化学物理研究所 |
| 摘 要： | 热力学计算表明，Ｈ２，Ｎ２的过量有助于提高ＴｉＮ的产率，但能耗也相应增加。为此考察了温度，流量，ＴｉＣｌ４携带量，混合方式对产物性能的影响。结果表明，流量增加，温度升高，ＴｉＣｌ４携带量增加，混合愈好，则产物粒径愈小。在此基础上采用微波等离子体化学气相沉积法，合成了粒径为１２３－２８４ｎｍ的ＴｉＮ超细颗粒 |
| 关 键 词： | 氮化钛 超细粉 化学气相沉积 |
Synthesis of TiN Ultrafine Particle via Microwave Plasma Chemical Vapour Deposition |
|
| Gu Hongchen and Hu Liming.Synthesis of TiN Ultrafine Particle via Microwave Plasma Chemical Vapour Deposition[J].Researches in Medical Education,1994(2):141-144. | |
| Authors: | Gu Hongchen and Hu Liming |
| Abstract: | |
| Keywords: | titanium nitride mierowave ultrafine powder chemical vapour deposition |
| 点击此处可从《医学教育探索》浏览原始摘要信息 | |
| 点击此处可从《医学教育探索》下载免费的PDF全文 | |