| 高灵敏度的酯型光敏聚酰亚胺 |
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| 引用本文： | 侯豪情 张春华. 高灵敏度的酯型光敏聚酰亚胺[J]. 医学教育探索, 1999, 0(1): 1-5 |
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| 作者姓名： | 侯豪情 张春华 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春应用化学研究所二室 |
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| 摘 要： | 通过液－固逐步溶解缩聚的方法,合成了几种有较高分子量的光敏聚酰胺酸酯,并对它们的光刻性能进行了研究和讨论。其中,米赤酮或双叠氮对以联苯二酐间苯二胺残在为主的链结构的光敏ＰＩ前体的感光性能有最大的影响,由这种ＰＩ前体配制的光敏聚酰亚胺光刻胶具有最高的灵敏度。
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| 关 键 词： | 光敏聚酰亚胺 聚酰胺酸酯 光刻胶 PSPI |
High Sensitive Ester-Type Photosensitive Polyimide |
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| Hou Haoqing Zhang Chunhua Su Hongli Ding Mengxian. High Sensitive Ester-Type Photosensitive Polyimide[J]. Researches in Medical Education, 1999, 0(1): 1-5 |
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| Authors: | Hou Haoqing Zhang Chunhua Su Hongli Ding Mengxian |
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| Abstract: | Several kinds of photosensitive polyamic acid ester (photo-PAE) with higher molecular weight were prepared by dissolution-condensation on the liquid-solid interface. The relationship between sensitivity and sensitizer as well as photocrosslinking agent wa |
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| Keywords: | photosensitive polyimide polyamic acid ester photolithography sensitizer and photocrosslinking agent |
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